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混配柜
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兩元或多元需要混合的氣體經過單向閥進入兩級或多級壓力平衡裝置,平衡其輸入壓差,從而保證了混合前組分氣體和稀釋氣體的壓力相同,然后調節流量控制閥,可將各種氣體的流量依據希望達到的混氣比例進行調定。
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